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dry pump抽氣效率在真空幫浦抽氣性能檢測技術於半導體及光電產業之應用的討論與評價

Vacuum pumps have been widely used in semiconductor and electro-optic industries. Dry vacuum pumps become the main stream of the first stage of the vacuum ...

dry pump抽氣效率在真空技術的討論與評價

但因轉子與靜子間無氣密襯墊,故幫浦之壓縮比. 也不大。利用dry pump來抽粗略真空要能達到啟動高真空幫浦. 所要求之真空度就需要用多級dry pump才能 ...

dry pump抽氣效率在真空概念www.tool-tool.com的討論與評價

cryo pump 是目前半導體使用最普遍,乾淨無油高真空邦浦,抽氣範圍可達10E-2到10E-11Torr對水氣抽氣效率最高最大,因為是利用極低溫(約零下273。

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    dry pump抽氣效率在真空系統抽氣曲線之模擬與軟體開發| NTU Scholars的討論與評價

    關鍵字: 抽氣;真空腔體;Extended Temkin 等溫線;釋氣;模擬;Pump-down;Vacuum chamber ... 為了能有效率地分析,本論文也開發出一模擬程式,其由MFC與MATLAB組成。

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